金融界 2024 年 8 月 4 日消息，天眼查知識產權信息顯示，浙江求是半導體設備有限公司,浙江晶盛機電股份有限公司申請一項名為“一種拋光設備“，公開號 CN202410874366.5，申(shen)請日期(qi)為(wei) 2024 年 7 月(yue)。

       專利摘要顯示，本申請涉及(ji)半導(dao)體拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)技術(shu)領(ling)域，尤其(qi)是涉及(ji)一種拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)設(she)(she)備及(ji)檢測方法(fa)，包括(kuo)：拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)具有(you)工(gong)作(zuo)面；拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊粘接設(she)(she)置于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)工(gong)作(zuo)面上；以及(ji)檢測組件，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)檢測組件位(wei)于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)和(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊之間，并連接于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)或所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊上，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)檢測組件用于(yu)檢測所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊和(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)盤(pan)之間的(de)間距并輸出(chu)。解決了(le)拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊狀(zhuang)態無法(fa)檢測的(de)技術(shu)問題，達(da)到(dao)了(le)實時檢測拋(pao)(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊及(ji)氣泡狀(zhuang)態的(de)技術(shu)效果。