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MOCVD法在Si襯底上沉積用于NSOM設備的β-SiC薄膜

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作者(zhe):SangHunNam,MyoungHwaKim,JinHyoBoo摘要(yao):利用(yong)金屬有機化學氣相沉積法(fa)在真(zhen)空(2.0×10?-6托)和(he)不同溫度范圍(7

日期 2016-04-14   
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立(li)方碳化硅又名β-Sic,屬立(li)方晶(jing)系(金剛石晶(jing)型)。β-Sic的莫氏硬度為9.25--9.6,與金剛石接近,光潔...

日期 2013-12-07   
  共 2 條記錄

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中國人造金剛石誕生60周年

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1963年,我國成(cheng)功研(yan)制出第一顆人造金剛石(shi),經過(guo)幾(ji)代人的(de)拼搏奮斗,實現(xian)了(le)從無到(dao)(dao)有、從小(xiao)到(dao)(dao)大(da)(da)、從弱到(dao)(dao)強的(de)華(hua)麗蝶變(bian)。人造金剛石(shi)及其制品(pin)在(zai)我國航空航天、國防軍(jun)工、機床機械等(deng)領(ling)(ling)域發(fa)揮著愈發(fa)重要的(de)作用。不(bu)僅如此,隨著金剛石(shi)技術的(de)選代,金剛石(shi)民用領(ling)(ling)域—培育(yu)鉆(zhan)石(shi)迎來(lai)了(le)自己的(de)大(da)(da)爆發(fa),中(zhong)國占(zhan)據了(le)世(shi)界培育(yu)鉆(zhan)石(shi)產量的(de)80%以上(shang),近幾(ji)年在(zai)國際上(shang)產生了(le)巨大(da)(da)影響(xiang)力。