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奧地利維也納技術大學開發出控制多孔碳化硅制造的方法

關鍵詞 碳化硅 , 多孔碳化硅|2018-01-26 10:55:31|來源 智芯前沿
摘要 奧地利維也納技術大學的研究人員成功開發出控制多孔碳化硅制造的方法。微小的多孔結構是實現微型傳感器和特殊光學和電子元件的必備元件,傳統技術使用硅作為材料,奧地利維也納技術大學的研究人...

  奧地利維也納技術大學的研究人員成功開發出控制多孔碳化硅制造的方法。微小的多孔結構是實現微型傳感器和特殊光學和電子元件的必備元件,傳統技術使用硅作為材料,奧地利維也納技術大學的研究人員則開發出制造多孔碳化硅的(de)(de)新方法。研究人員(yuan)通(tong)過制造厚度約為(wei)70納(na)米(mi),帶有(you)不同孔隙(xi)的(de)(de)薄(bo)膜將具(ju)有(you)選擇性反射(she)功能(neng)的(de)(de)特(te)殊反射(she)鏡(jing)集(ji)成(cheng)到碳(tan)(tan)(tan)化(hua)(hua)硅鏡(jing)片中,利用(yong)光線折射(she)進行(xing)控制,最終形(xing)成(cheng)多孔碳(tan)(tan)(tan)化(hua)(hua)硅。相比于用(yong)硅制造的(de)(de)多孔結構(gou),多孔碳(tan)(tan)(tan)化(hua)(hua)硅具(ju)有(you)更高(gao)的(de)(de)耐化(hua)(hua)學性,可(ke)(ke)用(yong)于生(sheng)物應用(yong)。目前,研究人員(yuan)成(cheng)功證(zheng)明了(le)新方法可(ke)(ke)以在微(wei)觀(guan)尺度上(shang)可(ke)(ke)靠地(di)控制碳(tan)(tan)(tan)化(hua)(hua)硅的(de)(de)孔隙(xi)率。這為(wei)實現微(wei)米(mi)和納(na)米(mi)傳感器和電子元件(jian)開辟新道路,為(wei)集(ji)成(cheng)光學鏡(jing)元件(jian)來過濾特(te)定(ding)顏色提供(gong)可(ke)(ke)能(neng),并在包括防反射(she)圖層,特(te)殊生(sheng)物傳感器,抗超級電容器在內的(de)(de)一系(xi)列應用(yong)中具(ju)有(you)極大(da)的(de)(de)開發潛力。研究成(cheng)果(guo)發表在APL materials,Journal of the Electrochemical Society和IPO Science上(shang)。該項(xiang)研究得(de)到了(le)卓越技術能(neng)力中心(xin)(COMET)計劃的(de)(de)支持。

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