4月23日,中國質量檢驗協會發布通知,《金剛石制備 低壓微波等離子體化學氣相沉積系統》團體標準順利通過評審,批準立項。
上海鉑世光半導(dao)體科(ke)技(ji)(ji)有限公(gong)司、上海征世科(ke)技(ji)(ji)股份(fen)有限公(gong)司、西安(an)電子科(ke)技(ji)(ji)大(da)學(xue)蕪(wu)湖研究院、中國科(ke)學(xue)技(ji)(ji)術大(da)學(xue)、吉(ji)林大(da)學(xue)、武漢工程大(da)學(xue)材料科(ke)學(xue)與工程學(xue)院為此項團體標準的主要起草單位。
團(tuan)體(ti)標(biao)準(zhun)相比較于(yu)國家標(biao)準(zhun)和行(xing)(xing)業(ye)標(biao)準(zhun)有著更短的(de)制(zhi)定周期以及更高的(de)市(shi)場(chang)要求。它既(ji)能(neng)夠填補國家標(biao)準(zhun)的(de)空白,又能(neng)夠靈活的(de)吸納行(xing)(xing)業(ye)內優質的(de)新產品、新技術(shu),及時(shi)反映(ying)行(xing)(xing)業(ye)特(te)點,與國家標(biao)準(zhun)、行(xing)(xing)業(ye)標(biao)準(zhun)等(deng)政府主(zhu)導制(zhi)定的(de)標(biao)準(zhun)共同構成國家標(biao)準(zhun)體(ti)系(xi)。
該團體標準的(de)立項及之(zhi)后(hou)的(de)建立,將(jiang)為我國MPCVD金剛石行(xing)業健康有(you)序(xu)發展提(ti)供重(zhong)要支撐,助(zhu)力中國MPCVD金剛石技術更高水平對外開放(fang)。