近日,河南黃河旋風股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發取得(de)突破,經多家客(ke)戶使用(yong),其產品(pin)性能已完全(quan)達到甚至超過日本(ben)同類(lei)產品(pin)水平(ping),不論(lun)在切(qie)割效(xiao)率(lv)、切(qie)割質量還是切(qie)割穩定性,均全(quan)面優(you)于現有砂漿切(qie)割水平(ping)。
近年來,以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體產業發展迅猛,國家高度重視,企業積極布局,整個行業呈現爆發式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導體之一,具有優異的性能,同時也具有難加工的特點,其超高的硬脆性特點導致加工難度大、風險高、效率低、良品率不高,尤以切割為難點。目前市場上主要以金剛石砂漿(jiang)切割為主(zhu),切割速度(du)慢,效率低,砂漿(jiang)利用率低,成本居高不下,砂漿(jiang)用微粉供應已達(da)極(ji)限(xian),固結金剛線替代(dai)砂漿(jiang)切割已成必然(ran)趨勢。
目前市場上(shang)能(neng)夠穩定供應的碳化(hua)硅切(qie)割(ge)線(xian)僅有日(ri)本某企業,在(zai)美日(ri)等國對我國芯片行業打壓的大背(bei)景下(xia),碳化(hua)硅切(qie)割(ge)金(jin)剛線(xian)的國產(chan)化(hua)就特別迫(po)切(qie)。然而(er)碳化(hua)硅晶圓價值(zhi)高,要求切(qie)割(ge)低風險、高質量,對金(jin)剛線(xian)的質量要求就極為(wei)嚴苛。
黃河旋(xuan)風作為超硬材(cai)料(liao)龍(long)頭企業(ye),充(chong)分發揮全產(chan)業(ye)鏈覆蓋(gai)的(de)優(you)勢,多(duo)部門協(xie)同研發,利用其從(cong)日本住友引(yin)進吸收(shou)的(de)金剛(gang)線(xian)設備(bei)和技(ji)術,深(shen)入(ru)開展金剛(gang)石線(xian)鋸對碳(tan)化硅的(de)切割(ge)機(ji)理研究,重點對切割(ge)中金剛(gang)石的(de)失效機(ji)理進行(xing)深(shen)入(ru)挖(wa)掘(jue),適配了專用金剛(gang)石及微粉,確保(bao)了該產(chan)品(pin)優(you)異的(de)切割(ge)能力(li)以(yi)及材(cai)料(liao)、產(chan)品(pin)質量的(de)穩定性。
黃河旋風碳化硅切割專用金剛線線徑均勻、線絲圓度好、磨料分布均勻、出刃高。
在6英寸絕緣型及導電型碳化硅晶體的切割過程中,線弓小、無斷線,切割后晶面平整無線紋,切割用線量介于500-800m/片。
經多家客戶的(de)(de)切割使用驗證,切割后線(xian)徑磨損均勻(yun),均取得穩定(ding)的(de)(de)切割數據,且可獲得同等于(yu)砂(sha)漿切割的(de)(de)晶片質量,可大幅提升切割效率降低(di)生產成本(ben)。