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國產18寸半導體級單晶硅棒研制成功

關鍵詞 單晶硅 , 半導體|2020-07-02 09:05:09|來源 中關村在線
摘要 近日,在SemiconChina2020上,新美光(蘇州)半導體科技有限公司發布了450mm(18寸)11個9純度的半導體級單晶硅棒。據新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導體單晶...

近日,在Semicon China2020上,新美光(蘇州)半導體科技有限公司發布了450mm(18寸)11個9純度的半導體級單晶硅棒。據新美光CEO夏(xia)秋良(liang)介紹,450mm半導(dao)體單晶(jing)硅棒采(cai)用國際最先進(jin)(jin)MCZ技(ji)術,代表國際先進(jin)(jin)水平(ping),改變國內無自主450mm半導(dao)體級單晶(jing)硅棒的局面。將在28nm以下(xia)晶(jing)圓廠實現(xian)國產替(ti)代。

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2019年12月(yue)(yue),新美光完成(cheng)了(le)數千(qian)萬元(yuan)pre-A輪(lun)融資,由陜(shan)投(tou)成(cheng)長基金領投(tou),2020年6月(yue)(yue)份,又(you)迅速的(de)(de)完成(cheng)了(le)新的(de)(de)一輪(lun)融資,由安豐創投(tou)領投(tou)。目(mu)前在建2萬平米廠房,預計2021年4月(yue)(yue)封頂,2021年年底(di)產(chan)線投(tou)產(chan)。

擴展閱讀:晶圓是制造半導體芯片的基本材料,制作晶圓需要將單晶硅棒進行切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝而成。

而單(dan)晶硅(gui)棒的制造則需要純度為99.9999%的電子級別硅(gui)在1400 ℃高溫中溶(rong)解,然(ran)后在溶(rong)液中種入籽晶。隨(sui)后慢慢拉出形成圓柱形單(dan)晶硅(gui)棒。

電(dian)子級(ji)別硅的(de)提純則需要把(ba)砂石(shi)放(fang)在2000℃的(de)高溫中與碳(tan)源發生反(fan)應。生成純度為98%的(de)硅(冶(ye)金(jin)(jin)級(ji)硅),隨后把(ba)粉碎的(de)冶(ye)金(jin)(jin)級(ji)硅與氣態(tai)的(de)氯化(hua)(hua)氫進行(xing)氯化(hua)(hua)反(fan)應,生成液態(tai)的(de)硅烷。通過蒸餾和化(hua)(hua)學還原工藝,得到了純度為99.99999%的(de)多晶硅。

此(ci)次新(xin)美光(蘇州)半導體科(ke)技(ji)有限公(gong)司自主生產的(de)450mm的(de)半導體級單晶硅棒,在當下有十分重要的(de)戰略意義。

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