5月30日，我省首臺套金剛石微波等離(li)子體化(hua)學氣相(xiang)沉積（MPCVD）高端裝備(bei)在圍場滿族(zu)蒙古族(zu)自治縣下(xia)線。

       據了解，傳統金剛石制備技術長期依賴進口裝備，成本高、工藝受限。由河北投實晶鎧科(ke)技有限公司自(zi)主研發的MPCVD高端裝備通過優(you)化微(wei)波等(deng)離子體參數(shu)，將(jiang)金(jin)剛(gang)石(shi)單晶沉積速率(lv)提升，達到國際領先水平。

       “我們依托圍場富(fu)集的(de)綠電(dian)資源，采用綠電(dian)耦合技(ji)術，設備綜(zong)合能耗降低(di)40%，可(ke)生產(chan)(chan)出純度達99.999%的(de)高品質金(jin)剛石，滿(man)足半導(dao)體級(ji)應用需求(qiu)。裝備可(ke)連續作業2000小(xiao)時無故(gu)障(zhang)，為規(gui)模化生產(chan)(chan)奠定基礎，真(zhen)正實(shi)現了技(ji)術自主可(ke)控和‘綠電(dian)造(zao)綠鉆’零碳(tan)閉環(huan)生產(chan)(chan)，實(shi)現經濟效益(yi)與環(huan)境效益(yi)雙贏。”河北(bei)投實(shi)晶鎧(kai)科技(ji)有限(xian)公司(si)技(ji)術總監吳偉慶說。

       金(jin)(jin)剛石作為半導體終極材(cai)料，具有(you)硬度高(gao)、耐(nai)腐蝕性(xing)強(qiang)、導熱性(xing)能(neng)優異等特性(xing)。“全球金(jin)(jin)剛石裝備市場(chang)正在以年均25%增速擴張(zhang)，而傳統工業(ye)制造面臨(lin)純度低和能(neng)耗高(gao)等技(ji)術短板，MPCVD技(ji)術恰好(hao)破解(jie)了這(zhe)些(xie)難題。”承(cheng)德凱捷新能(neng)源科(ke)技(ji)有(you)限公(gong)司(si)總(zong)經理申偉東說，凱捷公(gong)司(si)決定與投(tou)實晶鎧(kai)公(gong)司(si)深度合作，利(li)用園區資源優勢，實現綠(lv)電高(gao)效利(li)用，綠(lv)色材(cai)料反(fan)哺，綠(lv)色能(neng)源價值躍(yue)升。

       圍場作為“國家首批綠(lv)(lv)色(se)能源(yuan)(yuan)示范縣”，清潔(jie)能源(yuan)(yuan)并網總(zong)量已(yi)達748.81萬千瓦。近年來，圍場積極(ji)布局金剛石(shi)產(chan)(chan)業，通過精準招引與深度合(he)作，對接清華(hua)大(da)學等(deng)知名(ming)院所，著力(li)打造(zao)“釩鋰電池+氫能利用+裝備制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)”特(te)色(se)產(chan)(chan)業，因地(di)制(zhi)(zhi)(zhi)宜培育(yu)新(xin)質(zhi)生產(chan)(chan)力(li)，聚焦MPCVD設備及(ji)高端金剛石(shi)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)領(ling)域，創(chuang)新(xin)提(ti)出(chu)“點石(shi)成金”“陽光制(zhi)(zhi)(zhi)綠(lv)(lv)氫”“綠(lv)(lv)電造(zao)綠(lv)(lv)鉆”等(deng)新(xin)能源(yuan)(yuan)消納(na)特(te)色(se)方案，將清潔(jie)電力(li)與玄武巖加工、光敏半導(dao)體(ti)(ti)耦合(he)制(zhi)(zhi)(zhi)氫、半導(dao)體(ti)(ti)級金剛石(shi)制(zhi)(zhi)(zhi)備等(deng)產(chan)(chan)業深度融合(he)，實現資源(yuan)(yuan)就地(di)轉(zhuan)化，推動產(chan)(chan)業集群化、高端化發展。