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浙企攻破“卡脖子”技術斬獲首張CMP拋光液訂單

關鍵詞 CMP拋光液|2024-12-03 11:05:30|來源 浙江日報
摘要 早上9時左右,敲開寧波潤平電子材料有限公司董事長惠宏業的辦公室時,他正接起當天的第5個電話。電話接二連三,有催訂單的,也有談業務、匯報生產進度的。“抱歉,最近忙得起飛!”惠宏業好不...

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        早上9時(shi)左右,敲開寧波潤平電子(zi)材料(liao)有限公司董事長惠宏業的(de)辦(ban)公室時(shi),他正(zheng)接起當天的(de)第5個電話。電話接二連三,有催(cui)訂(ding)單的(de),也有談業務、匯報(bao)生產進度的(de)。

        “抱歉,最近忙得起飛!”惠宏業好不容易放下發燙的手機。對“潤平電子”來說,2024年的最后一個季度極其關鍵:首張CMP(化學機械拋光)拋光液大訂單投產趕制,新的CMP拋光液訂單(dan)正加班加點(dian)“面試”……

        CMP拋(pao)光(guang)(guang)液(ye),就是給(gei)半(ban)導體芯片表(biao)面拋(pao)光(guang)(guang)的化(hua)學液(ye)體。

        芯片制造是個細活(huo),要在指(zhi)甲蓋大小的地方容納(na)上百億個晶體管。這就(jiu)要求這塊芯片能達(da)到納(na)米級(ji)的平整度(du),此時就(jiu)需(xu)用拋光液去“打磨(mo)”。

        一(yi)根頭發(fa)絲(si)直徑約為0.1毫米(mi)(mi),一(yi)納(na)米(mi)(mi)相當于(yu)一(yi)根頭發(fa)絲(si)的(de)十萬分之一(yi)。那么納(na)米(mi)(mi)級的(de)平整度(du)究竟有多難?惠宏業(ye)打了(le)個形象(xiang)的(de)比(bi)(bi)方,若按同(tong)比(bi)(bi)例放大(da),以寧波到新疆的(de)高速公(gong)路來比(bi)(bi)擬,相當于(yu)要求3000千米(mi)(mi)長的(de)高速公(gong)路路面起伏高度(du)差(cha)不能超過1毫米(mi)(mi)。

        “越(yue)平整(zheng),最終芯(xin)片(pian)性能越(yue)強。”惠宏業(ye)(ye)(ye)曾(ceng)是國(guo)外一家(jia)芯(xin)片(pian)材(cai)料巨頭的(de)高管,鉆研CMP產(chan)品技(ji)術(shu)多年。他很清楚,拋光(guang)液是發展高端芯(xin)片(pian)產(chan)業(ye)(ye)(ye)的(de)關鍵一環,市場長(chang)期被國(guo)外壟斷,而隨著全(quan)球半(ban)導體(ti)行業(ye)(ye)(ye)高度細分(fen)化,中國(guo)要在芯(xin)片(pian)版圖占得一席(xi)之(zhi)地(di),拋光(guang)液是“必爭(zheng)之(zhi)地(di)”。

   ;     2017年,惠(hui)宏業放棄國(guo)外(wai)高薪工作,“加盟”江豐電子CMP事業部。2021年底(di),他創辦“潤平電子”,全力(li)研發(fa)CMP拋光材料。

        當時,惠宏業算過一筆經濟賬:全球半導(dao)體芯片拋(pao)光材料(liao)市場(chang)產值(zhi)約為(wei)270億元,其中(zhong)拋(pao)光液(ye)占了近一半。中(zhong)國每(mei)年對拋(pao)光液(ye)的需求量折合產值(zhi)為(wei)50億元,但國產拋(pao)光液(ye)市場(chang)占有量只有10%,其余都依賴進口(kou)。

        “市(shi)場空間(jian)大,但這一行‘新人’要(yao)搶市(shi)場,太(tai)難(nan)(nan)太(tai)難(nan)(nan)!”惠(hui)宏業連說了(le)兩個(ge)“太(tai)難(nan)(nan)”。

        在(zai)(zai)行業(ye)內摸(mo)爬滾打27年,卻把“新人(ren)”兩字(zi)掛在(zai)(zai)嘴(zui)邊(bian)(bian),沒等我(wo)深究緣(yuan)由(you),惠(hui)宏業(ye)看了一眼時鐘,一臉歉(qian)意地(di)說:“馬上(shang)要去車間盯進度,要不我(wo)們邊(bian)(bian)走邊(bian)(bian)聊?”

        說話間(jian),惠宏業腳底生(sheng)(sheng)風,我小(xiao)跑幾步追了上去。來到(dao)工廠車間(jian),走過(guo)一排排高(gao)速(su)運作(zuo)的(de)設備(bei),龐然大物(wu)般的(de)巨(ju)型機(ji)器里,機(ji)械手(shou)正以毫(hao)米(mi)級的(de)精(jing)度快速(su)撒料、攪拌……緊張(zhang)、忙碌感撲面而來。“8月(yue)1日,第一批拋光液就從這里下線;現(xian)在(zai),4條(tiao)生(sheng)(sheng)產(chan)線馬力(li)全開(kai),正全力(li)趕制訂(ding)單!”惠宏業說。

        而惠宏業最(zui)掛心的(de)還是實驗室,他笑著(zhu)說(shuo):“那里‘系’著(zhu)我們的(de)新訂單呢!”

        一邁進(jin)實驗室,惠宏(hong)業就如連珠炮般發問:“選擇(ze)比達標了嗎?缺陷率有(you)沒有(you)降下來?拋光速(su)率接近了嗎?”

        這(zhe)會兒,研發人員正埋頭向(xiang)一個(ge)實驗(yan)設(she)備添(tian)加各(ge)種“藥液”,攪拌(ban)后,再灌裝到(dao)一個(ge)個(ge)30多厘米高的白色桶(tong)里,實驗(yan)室一角,幾十桶(tong)新(xin)調(diao)制出來的拋光液堆得滿滿當當。“這(zhe)些都(dou)要送到(dao)用(yong)戶公(gong)司測試,不(bu)同用(yong)戶企(qi)業、不(bu)同產品,需要的拋光液也(ye)不(bu)同。

        可以(yi)說,配方和(he)流程(cheng)就是我們(men)企業的(de)核(he)心競爭力。”研發科科長(chang)萬旭軍說。但這個“匹(pi)配”的(de)過程(cheng)漫長(chang)、繁瑣,投入極大,有時候一筆(bi)訂單光測試配方就要花一年時間。

        從萬旭軍(jun)滿布紅血絲(si)的(de)眼睛,我(wo)可以(yi)清晰地感知“首單”背后(hou)“沖(chong)鋒(feng)”的(de)艱辛。

        沖刺首單,“萬旭(xu)軍”們最初(chu)遇到的是“技術題(ti)”。拋光(guang)液里需(xu)加入很(hen)多納米(mi)級的顆(ke)粒,用于研磨芯片表面(mian),如何讓這些顆(ke)粒大小均勻、沒有雜質,這是個大難(nan)題(ti)。而(er)小顆(ke)粒又(you)很(hen)容易“抱團”成大顆(ke)粒,劃傷芯片表面(mian),這又(you)需(xu)要(yao)合(he)適(shi)的分散劑助力(li)……“整個研發過(guo)程(cheng)至少經(jing)歷了上千次實驗,從拋光(guang)顆(ke)粒到最終產品,目前我(wo)們完成了全(quan)鏈路100%自主生產,三年間,企業已累計申(shen)請專利105項。”萬旭(xu)軍自豪(hao)地說。

        攻克了“卡脖(bo)子”技術,市場又(you)是另一(yi)(yi)(yi)道考題。惠宏業常用“保守”兩字來形(xing)容(rong)半導體(ti)芯片企業,“不輕易換合作方,因為試錯(cuo)成本(ben)太高,像生產一(yi)(yi)(yi)片300毫米直徑晶(jing)圓芯片,平均需要(yao)一(yi)(yi)(yi)到三個月(yue),成本(ben)高昂,任何(he)一(yi)(yi)(yi)個環(huan)節出差錯(cuo),就會全部報廢,所以‘新(xin)人’很難(nan)打入(ru)市場。”

        惠(hui)宏業(ye)的(de)解(jie)釋,解(jie)答(da)了剛才留給(gei)我的(de)困惑。他(ta)說,前三年,“小樣”是一桶一桶往用戶企業(ye)送,測(ce)試(shi)、調整、再(zai)測(ce)試(shi),終于通過層(ceng)層(ceng)考驗,拿下第一單。

        “首單斬獲,就(jiu)像拿到了一張市場‘暢通(tong)證’,很(hen)快就(jiu)有四五家企(qi)業(ye)拋(pao)來橄欖(lan)枝(zhi)。四季(ji)度,我們要全(quan)力沖擊這些新訂單!”惠宏業(ye)信心滿滿。

        信心(xin)背后,惠宏業已然“鋪開”全新的發(fa)展版圖:新廠(chang)房加緊施工建設,融資談(tan)判(pan)緊鑼密鼓,出口審批手續(xu)也已啟動……

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