利用微波等離子體化學氣相沉積技術生長高質量單晶金剛石的(de)(de)(de)最佳(jia)方(fang)法(fa)是利(li)用(yong)同(tong)質(zhi)外延，然而單晶(jing)金(jin)(jin)剛(gang)石襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)價格昂(ang)貴，采(cai)用(yong)其(qi)他襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)制(zhi)備(bei)的(de)(de)(de)大部分(fen)都(dou)是多晶(jing)金(jin)(jin)剛(gang)石，這是目前生(sheng)(sheng)長(chang)(chang)高(gao)質(zhi)量金(jin)(jin)剛(gang)石的(de)(de)(de)一大難點(dian)。襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)的(de)(de)(de)選擇需要綜合考慮晶(jing)格匹配、熱學、光學、穩定性等(deng)多種參數，目前已在 Si，Cu，Ti，Ir，SrTiO3，KTaO3 等(deng)襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)上實現了金(jin)(jin)剛(gang)石的(de)(de)(de)制(zhi)備(bei)，不(bu)同(tong)襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)制(zhi)備(bei)的(de)(de)(de)金(jin)(jin)剛(gang)石往往具有其(qi)獨特的(de)(de)(de)性質(zhi)。有學者提出采(cai)用(yong)鉭(tan)鈮酸鉀(jia)（ KTa1-xNbxO3，簡稱KTN）晶(jing)體作為生(sheng)(sheng)長(chang)(chang)金(jin)(jin)剛(gang)石的(de)(de)(de)襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)，在這種襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)上生(sheng)(sheng)長(chang)(chang)金(jin)(jin)剛(gang)石薄膜有望(wang)成為探索金(jin)(jin)剛(gang)石薄膜襯(chen)(chen)(chen)(chen)底(di)的(de)(de)(de)新方(fang)向。