隨著科技的快速發展,芯片已經成為我們日常生活中不可或缺的一部分。然而,隨著芯片性能的不斷提升,傳統的半導體材(cai)料正在面(mian)臨越(yue)來(lai)越(yue)多(duo)的(de)挑戰。在這(zhe)個背景下(xia)(xia),寬禁帶半導體材(cai)料成為(wei)了研(yan)究的(de)熱點,并(bing)有望成為(wei)下(xia)(xia)一代芯片(pian)的(de)核心材(cai)料。
寬禁帶半導體一般被稱作第三代半導體,主要包括碳化硅、氮化鎵、氧化鋅、金剛石等(deng),優(you)點是(shi)(shi)禁(jin)帶寬度(du)大(大于2.2ev)、擊穿電場(chang)強(qiang)度(du)高、熱導率(lv)(lv)高、抗輻射能力強(qiang)、發光效(xiao)率(lv)(lv)高、頻率(lv)(lv)高。在高溫、高頻、抗輻射及大功率(lv)(lv)器件等(deng)領域具有廣泛的(de)(de)應用前景。比如目前,市場(chang)火(huo)熱的(de)(de)5G基站、新能源汽車(che)和快(kuai)充(chong)等(deng)都(dou)是(shi)(shi)第三代(dai)半導體(ti)的(de)(de)重要應用領域。
01、寬禁帶半導體材料的物理性質
寬禁(jin)帶半導(dao)體(ti)材料的物理性質主要包括高擊穿電場強度、高熱傳導(dao)率、良好(hao)的熱穩定性、強抗輻射能力(li)等。
首先,寬(kuan)(kuan)禁帶(dai)(dai)半導體材料(liao)具(ju)有(you)(you)高(gao)(gao)擊穿電(dian)場強(qiang)(qiang)度(du)。寬(kuan)(kuan)禁帶(dai)(dai)半導體材料(liao)具(ju)有(you)(you)大的(de)(de)禁帶(dai)(dai)寬(kuan)(kuan)度(du),比(bi)如Si的(de)(de)帶(dai)(dai)隙只(zhi)有(you)(you)1.2eV,而(er)寬(kuan)(kuan)禁帶(dai)(dai)半導體的(de)(de)帶(dai)(dai)隙超過3.0eV;具(ju)有(you)(you)高(gao)(gao)擊穿場強(qiang)(qiang),比(bi)Si高(gao)(gao)10倍(bei)以上,這(zhe)(zhe)意味(wei)著在給定(ding)的(de)(de)電(dian)場強(qiang)(qiang)度(du)下,寬(kuan)(kuan)禁帶(dai)(dai)半導體材料(liao)的(de)(de)電(dian)流泄漏將(jiang)會(hui)更小,使得寬(kuan)(kuan)禁帶(dai)(dai)器(qi)件(jian)能(neng)夠承受更高(gao)(gao)的(de)(de)峰值電(dian)壓,從而(er)提升器(qi)件(jian)的(de)(de)輸出功率。這(zhe)(zhe)一特性使得寬(kuan)(kuan)禁帶(dai)(dai)半導體材料(liao)在制造高(gao)(gao)功率、高(gao)(gao)溫(wen)和高(gao)(gao)可(ke)靠性的(de)(de)電(dian)子設備方面具(ju)有(you)(you)巨大的(de)(de)潛力(li)。
其(qi)次,寬禁帶半(ban)導(dao)體材料具有高(gao)熱傳導(dao)率(lv)。這使得它們可(ke)以在高(gao)熱環境(jing)中保(bao)持穩定的工作狀態,并有效地散發(fa)熱量,從而避免過熱。
另外,寬(kuan)禁(jin)帶(dai)半導(dao)體材(cai)(cai)料具(ju)有(you)良好(hao)(hao)的熱穩(wen)定(ding)(ding)性(xing)。寬(kuan)禁(jin)帶(dai)材(cai)(cai)料良好(hao)(hao)的熱穩(wen)定(ding)(ding)性(xing)使得功(gong)率(lv)器件可(ke)(ke)以(yi)在更加惡劣(lie)的環境下工作(zuo),極大提高系(xi)統的穩(wen)定(ding)(ding)性(xing)和可(ke)(ke)靠性(xing)。
最后(hou),寬禁帶(dai)半導體材料具有強抗(kang)(kang)輻射(she)(she)能力。寬禁帶(dai)材料在(zai)輻射(she)(she)環(huan)境下(xia)的(de)(de)穩定性比Si器件高10至100倍(bei),這意味著它(ta)們可以承(cheng)受高劑量的(de)(de)輻射(she)(she)照射(she)(she),是制作耐高溫、抗(kang)(kang)輻射(she)(she)的(de)(de)大功率微波功率器件的(de)(de)優良(liang)材料,適合(he)用(yong)于制造(zao)太空和核(he)領域的(de)(de)電子設備。
02、寬禁帶半導體材料的最新研究應用
在當前的(de)(de)科技(ji)領域(yu),硅(gui)基(ji)芯片已經(jing)達到了性(xing)能極限(xian),傳(chuan)統的(de)(de)硅(gui)基(ji)芯片雖然(ran)在一定(ding)程(cheng)度上可以滿足基(ji)本(ben)需(xu)求,但(dan)在某些特定(ding)領域(yu)如(ru)高功率、高溫等環境(jing)下(xia)仍存在一定(ding)的(de)(de)局限(xian)性(xing)。而寬禁帶半導體(ti)材料具有(you)優異的(de)(de)熱學、電學和(he)力學性(xing)能,被認為是下(xia)一代芯片的(de)(de)理(li)想(xiang)選擇。
事實(shi)上,哈(ha)爾(er)濱工(gong)業大學與(yu)華(hua)為公(gong)司聯合(he)(he)申請的(de)(de)“一種基(ji)于硅(gui)(gui)和(he)金剛石(shi)的(de)(de)三維集(ji)成芯片(pian)(pian)的(de)(de)混(hun)合(he)(he)鍵(jian)合(he)(he)方(fang)法(fa)”專(zhuan)利正(zheng)是(shi)利用了(le)寬禁(jin)帶半導體材料的(de)(de)優勢。該專(zhuan)利涉及的(de)(de)方(fang)法(fa)將硅(gui)(gui)基(ji)芯片(pian)(pian)和(he)金剛石(shi)芯片(pian)(pian)進行混(hun)合(he)(he)鍵(jian)合(he)(he),實(shi)現了(le)以Cu/SiO2混(hun)合(he)(he)鍵(jian)合(he)(he)為基(ji)礎的(de)(de)硅(gui)(gui)/金剛石(shi)三維異(yi)質集(ji)成。利用金剛石(shi)的(de)(de)高熱(re)導率和(he)耐(nai)壓性,以及硅(gui)(gui)的(de)(de)成熟(shu)工(gong)藝和(he)低成本等優勢,實(shi)現了(le)一種高性能、低功耗(hao)的(de)(de)混(hun)合(he)(he)集(ji)成芯片(pian)(pian)。
這(zhe)一技術的(de)(de)突破之(zhi)處在于(yu),它成(cheng)(cheng)功地(di)將硅(gui)和金剛石這(zhe)兩(liang)種(zhong)性(xing)質迥異的(de)(de)材料結合在一起,開創了芯(xin)片(pian)制(zhi)造(zao)領域的(de)(de)新思(si)路(lu)。這(zhe)種(zhong)混(hun)合鍵(jian)合方法不僅(jin)可以提(ti)高芯(xin)片(pian)的(de)(de)性(xing)能,還可以降(jiang)低成(cheng)(cheng)本,并(bing)且有望在未來成(cheng)(cheng)為制(zhi)造(zao)下一代(dai)芯(xin)片(pian)的(de)(de)主流技術。
在(zai)金剛石(shi)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)研究領(ling)域取得(de)較(jiao)快進展的還(huan)有(you)日(ri)本。《日(ri)本經濟新聞》網站稱(cheng),日(ri)本初創企(qi)業OOKUMA公司計劃將被(bei)稱(cheng)為“終極(ji)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)”的金剛石(shi)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)推向實用(yong)化,最早(zao)將在(zai)2026年(nian)度投產。報道稱(cheng),日(ri)本佐賀(he)大學(xue)的研究表明,與(yu)現在(zai)主流的硅(gui)基半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)相比,金剛石(shi)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)可在(zai)5倍的高(gao)(gao)(gao)溫(wen)和(he)33倍的高(gao)(gao)(gao)電壓下工作(zuo)。性(xing)能也比常見的第三代半(ban)導(dao)(dao)體(ti)(ti)——碳化硅(gui)和(he)氮化鎵出色。這(zhe)種特(te)性(xing)讓(rang)它有(you)望用(yong)于更高(gao)(gao)(gao)電壓環境下的純電動汽(qi)車、高(gao)(gao)(gao)速通信(xin)(xin)及衛星通信(xin)(xin)等(deng)領(ling)域。
報道稱,OOKUMA公司生產的(de)金(jin)(jin)剛石半導(dao)體(ti)器(qi)(qi)(qi)件將首先用于福島第一核(he)(he)電站(zhan)的(de)核(he)(he)廢(fei)料(liao)處(chu)理(li)。為查看和(he)清理(li)福島第一核(he)(he)電站(zhan)堆芯(xin)熔毀后留下的(de)熔融燃(ran)料(liao),只有耐受極(ji)高(gao)(gao)(gao)輻射強(qiang)度(du)的(de)機(ji)器(qi)(qi)(qi)人才能(neng)勝任(ren)。但(dan)普通半導(dao)體(ti)器(qi)(qi)(qi)件在這種極(ji)端環(huan)境(jing)下的(de)壽命(ming)非常短,而OOKUMA公司發現(xian),金(jin)(jin)剛石半導(dao)體(ti)器(qi)(qi)(qi)件在450℃的(de)高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)和(he)輻射強(qiang)度(du)極(ji)高(gao)(gao)(gao)的(de)惡劣環(huan)境(jing)下也能(neng)正(zheng)常工(gong)作(zuo)。此外,為保護半導(dao)體(ti)器(qi)(qi)(qi)件免受強(qiang)輻射和(he)高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)環(huan)境(jing)的(de)影響,原本(ben)需要用沉(chen)重(zhong)的(de)鉛包裹(guo)機(ji)器(qi)(qi)(qi)人的(de)核(he)(he)心(xin)部分,并配(pei)備專門(men)的(de)冷卻裝置,而配(pei)備金(jin)(jin)剛石半導(dao)體(ti)后,就(jiu)可以省去這些裝置,從而減輕(qing)機(ji)器(qi)(qi)(qi)人重(zhong)量,提高(gao)(gao)(gao)工(gong)作(zuo)效(xiao)率(lv)。OOKUMA公司計劃以處(chu)理(li)核(he)(he)電站(zhan)廢(fei)堆為契機(ji)量產金(jin)(jin)剛石半導(dao)體(ti)。為力爭(zheng)應用于衛星通信,該公司與三菱電機(ji)等啟動了聯合研究(jiu)。年(nian)內(nei)還將與日本(ben)廠商推進用于純電動汽(qi)車器(qi)(qi)(qi)件的(de)開(kai)發。
然而,寬禁帶半(ban)導體材料(liao)也存在(zai)一些不(bu)足(zu),例如制造(zao)工藝復雜、成本高(gao)、載流子遷移(yi)率低等。此(ci)外,寬禁帶半(ban)導體材料(liao)在(zai)光電子器件領域的應用還處于起(qi)步階段,需要進一步的技術研發和推(tui)廣。
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