中國磨料磨具網訊 1月10日，2019年度國家科學技術獎在京揭曉，共評選出296個項目和12名科技專家。其中，國家自然科學獎授獎項目46項，國家技術發明獎授獎項目65項，國家科學技術進步獎授獎項目185項。

記者從獲獎名單中了解到，“大尺寸硅片超精密磨削技術(shu)與裝備” 項目榮獲2019年度國(guo)家技術(shu)發明二等(deng)獎，該項目主要完(wan)成人(ren)為大(da)連理(li)工大(da)學的康仁科、董志剛、朱祥龍(long)和有研半導體材料(liao)(liao)有限公(gong)司、鄭州磨(mo)(mo)料(liao)(liao)磨(mo)(mo)具(ju)磨(mo)(mo)削(xue)研究(jiu)所(suo)有限公(gong)司、無錫機(ji)床股份有限公(gong)司等(deng)單位。

據了解，“大尺寸硅片超精密磨削技術與裝備”項目主要研究內容為磨床結構設計與分析、金剛石砂輪研制(zhi)、硅(gui)片面型控(kong)制(zhi)系統、硅(gui)片高(gao)效低(di)損傷超(chao)精密磨削工藝(yi)等，并研制(zhi)出國內首臺大尺寸硅(gui)片雙(shuang)主(zhu)軸三工位全自(zi)動磨床和大尺寸硅(gui)片磨拋(pao)一體化機床等設(she)備(bei)。

項目(mu)主要完成人，大連理工(gong)大學朱祥(xiang)龍教(jiao)授表示，單(dan)晶硅(gui)片(pian)是集成電路最主要的襯底材(cai)料(liao)，超精(jing)密磨(mo)削(xue)(xue)技術(shu)在硅(gui)片(pian)的平(ping)整化和(he)背面(mian)減(jian)薄(bo)加工(gong)得(de)到廣泛應用。“大尺寸(cun)硅(gui)片(pian)超精(jing)密磨(mo)削(xue)(xue)技術(shu)與(yu)裝備”填補國內φ300mm硅(gui)片(pian)超精(jing)密磨(mo)削(xue)(xue)技術(shu)和(he)設(she)備的空(kong)白，為硅(gui)片(pian)高(gao)精(jing)度、高(gao)質量和(he)高(gao)效率的工(gong)業化生產提供技術(shu)支持。

關于國家科學技術獎

國(guo)(guo)家科(ke)(ke)學(xue)技術獎(jiang)(jiang)每(mei)年評審一次，根據最新發布的《關于深化科(ke)(ke)技獎(jiang)(jiang)勵(li)制度改革的方案》，規定(ding)“國(guo)(guo)家三大(da)獎(jiang)(jiang)”每(mei)年授(shou)獎(jiang)(jiang)總數(shu)不(bu)超過300項。國(guo)(guo)家科(ke)(ke)學(xue)技術獎(jiang)(jiang)包(bao)括國(guo)(guo)家自然科(ke)(ke)學(xue)獎(jiang)(jiang)、國(guo)(guo)家技術發明獎(jiang)(jiang)、國(guo)(guo)家科(ke)(ke)學(xue)技術進步獎(jiang)(jiang)，即(ji)大(da)家常說的“國(guo)(guo)家三大(da)獎(jiang)(jiang)”。還包(bao)括授(shou)予(yu)外籍(ji)科(ke)(ke)學(xue)家或外國(guo)(guo)組織的中華人民共(gong)和國(guo)(guo)國(guo)(guo)際科(ke)(ke)學(xue)技術合作獎(jiang)(jiang)，和分量最重的國(guo)(guo)家最高(gao)科(ke)(ke)學(xue)技術獎(jiang)(jiang)。

其中，國(guo)家最(zui)高科學技(ji)術獎(jiang)是我(wo)國(guo)科技(ji)界最(zui)高獎(jiang)項。2019年(nian)國(guo)家最(zui)高科學技(ji)術獎(jiang)分別頒給了中國(guo)船舶(bo)集團所(suo)屬719所(suo)名譽所(suo)長(chang)黃旭華(hua)院士、中國(guo)科學院大(da)氣物理(li)研究所(suo)曾慶存院士。