4月25日，山東省發改委組織專家對山東禹王實業有限公司承建的單晶硅外延(yan)基座研發(fa)及產(chan)業化(hua)項目(mu)進行(xing)了驗收(shou)(shou)。與會專(zhuan)家聽取了項目(mu)工作、技術、財(cai)務等(deng)總結報告，察看了項目(mu)現場(chang)，一致認為該項目(mu)完成(cheng)了批復文件規(gui)定的(de)建(jian)設內容(rong)，同意通過(guo)驗收(shou)(shou)。

　　該項目于2009年3月份被國家發改委批復為電子信息產業振興和技術改造項目。項目批復總投資5554萬元，其中，中央預算內投資350萬元，銀行貸款3000萬元，企業自籌2204萬元。
　　項目新增建筑面積11280平方米；購置設備326臺（套），建設了4條CVD生產線，形成了年產單晶硅外延用和氮化鎵外延用碳化硅涂層石墨基座21000套的能力。
　　該項目突破了石墨基座碳化硅涂層的化學氣相沉積技術，建成了目前國內直徑最大的碳化硅沉積爐，能夠進行直徑850mm大尺寸基座的生產，打破了國外壟斷，填補了國內空白，獲國家發明專利1項。
　　通過(guo)本項目(mu)的實施，將填補(bu)我(wo)國(guo)微(wei)電子、光(guang)電子半導(dao)體外(wai)延材料生產(chan)所需特種陶瓷基座的空白，替代(dai)進口，解(jie)決此類產(chan)品的供給難(nan)題(ti)，實現半導(dao)體生產(chan)中(zhong)關(guan)鍵易耗部(bu)件的國(guo)產(chan)化。同時(shi)解(jie)決硅單(dan)晶外(wai)延生長中(zhong)粘附工件與臺面(mian)的技術難(nan)題(ti)，為我(wo)國(guo)硅單(dan)晶外(wai)延片(pian)向大直徑、多片(pian)基發展提供設備支撐，這對我(wo)國(guo)微(wei)、光(guang)電子半導(dao)體產(chan)業(ye)將產(chan)生顯著的帶動作(zuo)用。