申請號: 201510203214.3
       申請日: 2015.04.23
       國家/省市: 中國濟南(88)
       公開號: 104802043A
       公開日: 2015.07.29
       主分類號: B24B 1/00(2006.01)
       分類號: B24B 1/00(2006.01)
       申請人: 山東大學
       發明人: 姚鵬; 王偉; 黃傳真; 王軍; 朱洪濤; 劉含蓮; 鄒斌; 劉增文
       代理人: 趙敏玲
       代理機構: 37221
       申請人地址: 山東省濟南市歷下區經十路17923號

       摘要： 本發明公開了一種自發熱輔助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，包括以下步驟：步驟1對石英玻璃進行油性冷卻液輔助冷卻粗磨和精磨，獲得表面粗糙度Ra＆amp;lt;300nm，裂紋深度SSD＆amp;lt;5um的工件表面；步驟2利用超細磨粒陶瓷結合劑CBN砂輪對石英玻璃進行延性域干磨削，且不添加任何冷卻液，利用砂輪磨削過程產生的磨削熱使石英玻璃表面溫度升高，使石英玻璃的脆塑轉變臨界砂輪半徑切入深度從亞微米增大至數微米，在微米級的砂輪半徑切入深度下對石英玻璃進行磨削加工，實現石英玻璃的延性域高效超精密磨削，獲得光滑無裂紋的石英玻璃表面。

       主權利要求 1.一種自發熱輔助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1對石英玻璃進行油性冷卻液輔助冷卻粗磨和精磨，獲得表面粗糙度Ra＆lt;300nm，裂紋深度SSD＆lt;5um的工件表面；步驟2利用超細磨粒陶瓷結合劑CBN砂輪對石英玻璃進行延性域干磨削，且不添加任何冷卻液，利用砂輪磨削過程產生的磨削熱使石英玻璃表面溫度升高，使石英玻璃的脆塑轉變臨界砂輪半徑切入深度從亞微米增大至數微米，在微米級的砂輪半徑切入深度下對石英玻璃進行磨削加工，實現石英玻璃的延性域高效超精密磨削，獲得光滑無裂紋的石英玻璃表面。