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一種碳化硅納米紙傳感器及其制作方法和應用

關鍵詞 碳化硅 , 納米 , 傳感器|2014-08-21 09:52:14|行業專利|來源 中國磨料磨具網
摘要 申請號:201310122742.7申請日:2013-04-10摘要:本發明公開了一種碳化硅納米紙傳感器,該傳感器為電阻型傳感器,其包括基材、碳化硅納米紙
       申請號:201310122742.7     申請日:2013-04-10

       摘要:本發明公開了一種碳化硅納米傳感器,該傳感器為電阻型傳感器,其包括基材、碳化硅納米紙和兩個導電電極,基材表面覆蓋有碳化硅納米紙,導電電極與碳化硅納米紙緊密結合在基材表面,導電電極之間的間隙連續鋪覆有碳化硅納米紙;其制備方法包括:將碳化硅納米線置于一基材上,利用有機溶劑輔助壓縮法將碳化硅納米線壓縮為碳化硅納米紙,再將基材置于真空環境中,利用真空濺射法通過掩膜在基材上沉積導電電極即得到傳感器。本發明的傳感器可通過導線接入一閉合電路中形成一濕度計,以測量環境相對濕度,具有耐高溫、抗氧化、抗腐蝕、高靈敏度、且多選擇性等優點。

       申請人: 中國人民解放軍國防科學技術大學
       地址: 410073 湖南省長沙市德雅路109號中國人民解放軍國防科學技術大學理學院
       發明(設計)人: 李公義 馬軍 李義和 胡天嬌 彭剛 李效東
       主分類號: G01N27/04(2006.01)I
       分類號: G01N27/04(2006.01)I
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