無錫吉致電子25年研發生產——淺(qian)槽(cao)(cao)隔離(li)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)/STI Slurry拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)/淺(qian)溝槽(cao)(cao)隔離(li)化(hua)學機械拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)/淺(qian)溝槽(cao)(cao)隔離(li)Slurry/淺(qian)槽(cao)(cao)隔離(li)研磨拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)/STI淺(qian)槽(cao)(cao)隔離(li)平(ping)坦化(hua)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)slurry/淺(qian)溝槽(cao)(cao)隔離(li)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)拋(pao)光(guang)(guang)(guang)漿料slurry/吉致(zhi)電子STI拋(pao)光(guang)(guang)(guang)液(ye)

產品簡介：STI Slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。

具(ju)有高的銅(tong)去除(chu)速率，碟型凹陷可調，低(di)缺(que)陷等(deng)特性。可應用于邏輯芯片(pian)以及3D NAND和DRAM芯片(pian)等(deng)量(liang)產使用。清(qing)除(chu)集成(cheng)電路中銅(tong)拋光(guang)后表(biao)(biao)面(mian)的拋光(guang)顆粒和化學物殘留，以防銅(tong)表(biao)(biao)面(mian)腐蝕，降低(di)表(biao)(biao)面(mian)缺(que)陷。

我司產品優點： 

1.懸浮性(xing)好，不易沉淀，使用方便。

2.顆(ke)粒(li)分散均勻，不團聚，軟硬度適中，有效(xiao)避(bi)免(mian)拋光過程中由于(yu)顆(ke)粒(li)團聚導致的工(gong)件(jian)表面劃傷缺陷。

3.運用(yong)拋(pao)光過程中(zhong)的(de)化學(xue)新(xin)作用(yong)，提(ti)高拋(pao)光速度，改善拋(pao)光表面的(de)質量。

4.分(fen)散性(xing)好、乳液(ye)均一，程(cheng)度提升拋(pao)光(guang)速(su)率(lv)的(de)同時(shi)降低(di)微(wei)劃傷的(de)概率(lv)，可(ke)以提高拋(pao)光(guang)精(jing)度。

5.無粉塵產生，關注(zhu)環保(bao)和人體(ti)(ti)健康(kang)安全。

可定制化：我們的拋光液可以根據客戶需求定制不同的PH、粒徑、濃度、穩定離子等。

包裝方式：25KG/桶(也可依客戶需求)